电子技术杂志社

摘要：阐述空气分子污染物（AMC）对晶圆产品良率的影响因素，不同种类的AMC对晶圆制造各工艺段有着不同因素的影响，AMC的控制技术变得更为重要。根据AMC种类的不同来源，从晶圆制造厂选址规划开始到晶圆厂运行要制定全面的控制策略。在规划、设计、建造、运行不用阶段运用不同的控制技术和措施把AMC控制在设定的控制值内，以达到AMC控制最佳的经济技术性。AMC监测及分析作为规划到运行过程中重要的技术手段，应确保AMC在可控范围内。

关键词： 晶圆制造;空气分子污染物(AMC);超净控制;

专辑： 信息科技

专题： 无线电电子学

分类号： TN305