传感自控技术在提升扩散均匀性中的应用
2025.02.14点击：
摘要：阐述针对扩散炉工艺制造均匀性不佳的问题，通过运用智能传感和控制技术，设计石英舟自动传感控制系统，介绍检测所用器件的算法原理。测试验证提升方块电阻均匀性的效果。
关键词： 智能控制;扩散工艺;方块电阻;均匀性;
基金资助： 国家重点研发计划（2020YFE0203100）； 长沙市科技计划（kh2404008）；
专辑： 信息科技
专题： 自动化技术
分类号： TP212;TP273
在线公开时间： 2025-02-08 17:38（知网平台在线公开时间，不代表文献的发表时间）
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